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苏州真空感炉、真空镀膜机、真空钎焊真空系统检漏

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真空容器如何检测漏气点
2019-08-29 18:18:37
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  对比设计真空值和测量真空值,来判断是否是真的漏气。有时候,很可能在真空容器设计过程中,存在着内漏气(virtual leak),那也会导致难以提高真空。各个不同的真空水平有不同的检漏方法。:一个大气压到0 torr: 直接听声音,可以降扳手一端贴着真空容器,另一端贴近耳朵。根据声音大小,移动扳手,寻找噪音点。一般的KF法兰,窗上的大漏很容易通过这个方法找到。0 torr到10^-5 torr: 用酒精或丙酮喷射到可能会漏的地方。由于漏点被酒精堵住,真空会有瞬间很明显的变好。

真空检漏

真空检漏

  如果漏点比较大,酒精进入真空室内部,真空会明显变差。10^-4 torr 到10^-10torr:使用四极质谱检漏仪检查。将检漏仪接在分子泵的T口处,关闭机械泵,让气经过主分子泵后进入检漏仪。在真空室每个可能会漏的地方慢慢得喷氦气。氦气的流速极小,嘴唇刚刚能感受到为宜。检漏仪如果检测到氦气信号,就能查到漏的位置了。10^-11 torr 到10^-13 torr:如果判断是漏,检测的难度比较大。已经到了检漏仪的极限了。而且一般的封接口,焊缝多多少少存在极小的漏率。这时需要真空室有剩余气体分析仪。

        然后将怀疑漏的地方用塑料袋包裹,并通入氦气。等待后,看氦气在剩余气体分析仪里的信号变化。然后逐个位置仔细检查。


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