联系我们

苏州真空感炉、真空镀膜机、真空钎焊真空系统检漏

联系人:梁先生

联系电话:13222213800

地址:苏州市吴中区越溪镇北官渡路

真空应用设备哪些部位容易出现泄漏
2019-09-03 18:21:12
653次访问

        检漏技术在真空领域占有非常重要的地位,它关系到真空设备的各项真空指标,如何快速精准地找到漏点关系到企业的生产效率与经营成本。氦质谱检漏仪是第二次世界大战期间快速发展起来的一种高精度检漏仪,其灵敏度高达10-15Pa·m3/s。当今常见的氦质谱检漏仪灵敏度在10-9~10-13Pa·m3/。

一、氦质谱检漏仪是如何工作的?

        氦质谱检漏仪由离子源、分析器、接收器、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。为了方便解释氦质谱检漏仪是如何工作的,我们以磁偏转型的氦质谱检漏仪为例进行说明。

        表示氦质谱检漏仪的原理图,在质谱室的离子源N内,气体被电离成离子。在电场作用下离子聚焦成束,并以一定的速度经由缝隙S1进入磁分析器,在均匀磁场的作用下,具有一定速度的离子束,将按圆形轨迹运动。调节加速电压U使氦离子束M2恰能通过缝隙S2到达收集极K而形成离子流。利用弱电流量测设备,使之在输出仪表与音响装置上反映出来。而其他不同于M2的离子束(如图中M1,M3)则以不同的偏转半径而被分开。


在线留言