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真空检漏​技术的基本概念!
2019-09-16 14:09:46
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   真空检漏技术的基本概念!


  关于真空检漏,干式螺杆真空泵厂家介绍了很多,从检漏方法到检漏仪器,以及各类注意事项等,站内搜索“检漏”即可看到。而这次,小编要补充真空检漏中一些最基础的基本概念。


  真空检漏工作针对的就是漏气,也叫实漏,是指气体通过真空系统上的漏孔或间隙,从高压侧流向低压侧。有实漏,然后对应的有一个虚漏,它是指泄漏的气体是由于材料放气、解吸、凝结气体的再蒸发或系统内的死空间气体流出等原因使真空系统或容器压力升高,这也是真空检漏工作需要排除的。


  此外其他的一些基本概念:气密性是指真空系统或容器壁对空气不可渗透程度的一种性能表征;漏孔,真空器壁上存在的形状不定、极其微小的空洞或间隙。


  大气通过其进入真空系统或容器中;漏率,及漏气速率,是指单位时间内通过漏孔或间隙流入到真空系统或容器的气体量;


  最小可检漏率,是指采用某种检漏方法或仪器可能检测出来的最小漏率;


  检漏灵敏度,也叫有效灵敏度,指检漏仪器在最佳工作状态下能检出的最小漏率;反应时间,也称响应时间,是指从检漏方法开始实施(如喷射示漏气体)到指示方法或仪器指示值上升到其最大值的63%时所需要的时间;


  消除时间,是指从检漏昂发停止(如停止喷吹示漏气体)到指示方法或仪器指示值下降到停止值的37%时所需的时间;漏孔堵塞现象,指由于真空检漏作业操作不当导致尘埃或液体堵塞漏孔,检漏时似乎不漏气,但一经排气就会出现漏气的一种现象。


  真空检测常用的有气压检漏、氨敏纸检漏、荧光检漏、高频火花检漏、放电管检漏和仪器检漏等多种方法。


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   真空检漏技术的基本概念!


  真空计检漏根据相对真空计(热导真空计和电离真空计等)的读数检漏的方法。真空计的工作压力范围就是检漏适用的压力范围。检漏时在可疑处喷吹示漏气体氢、氧、二氧化碳、乙烷或用棉花涂以乙醚、丙酮、甲醇等。示漏气体进入系统后会引起真空计读数的突然变化。热导真空计可检漏率为10-3帕·升/秒的漏孔;电离真空计可检漏率为10-4~10-5帕·升/秒的漏孔。


  卤素检漏仪检漏


  铂阳极筒和不锈钢阴极筒构成一个间热式二极规管。当加热丝将铂阳极加热到1027~1223K时,铂发出的正离子在负电场下到达阴极形成电流。在卤素气体的催化作用下,正离子的发射急剧增加。卤素检漏仪就是利用这样的效应制成的。检漏时将规管接到系统中,并将系统抽到9~2帕真空,有喷枪把卤素气体(常用氟利昂R12)喷向被检零部件可疑表面处


  引起离子流值急剧增加处即是漏孔位置。或与此相反将高于大气压力的卤素气体压入系统内,探测枪在被检零部件外表移动,卤素气体逸出处引起离子流值急剧增加,此处即为漏孔位置。真空检漏用这种方法可检最小漏率为10-3~10-4帕·升/秒的漏气。


  氦质谱检漏最常用的一种检漏法。用氦气作为示漏气体,以磁偏转质谱计作为检漏工具,工作原理与真空质谱计相同,差别仅在于氦质谱检漏仪使用的磁场和加速电压基本上是固定的,真空检漏因为它只检测氦离子。另外,为了提高离子流的输出,真空检漏适当牺牲分辨能力以降低对测量放大器的要求,所以这种检漏仪具有结构简单、灵敏度高、性能稳定、操作方便等优点。氦质谱检漏仪的结构如图所示。氦质谱检漏仪的主要技术指标有:①灵敏度,又称最小可检漏率,单位为帕·米3/秒;②反应时间与清除时间,单位为秒;③工作压强与极限压强,单位为帕。


  氦质谱检漏方法根据被检漏的零件的具体情况采用不同的方法。真空容器或器件常用喷吹法、氦室法和累积法。喷吹法是用喷枪对可疑部分喷氦气,真空检漏找出漏孔的位置,但效率较低;氦室法可对大容器检漏,将可疑部分用氦室罩上充入氦气,可以找到漏孔的大致范围,但漏孔位置不能精确确定。氦室法检漏效率较高。对于微小漏孔,可采用累积法,即先用氦室对可疑部分充入氦气,再将检漏仪节流阀关闭,真空检漏积累一定时间,打开节流阀,观察离子流的变化。这样,检漏灵敏度可提高1~2个数量级。其他方法还有吸收法、背压法等。对于容积大、放气量大、漏率大的容器可采用反流检漏法,真空检漏即将被检容器接在真空系统的扩散泵和机械泵之间,利用扩散泵的反流作用,使氦气反流到质谱室而进行检漏。www.zkgyljc.com/ 


  


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